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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH08250450(A) 申请公布日期 1996.09.27
申请号 JP19950049705 申请日期 1995.03.09
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 YAMANE YASUAKI;YAMAZAKI KIMIYOSHI;HIRANO MAKOTO
分类号 H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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