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发明名称 FORMATION OF CONNECTING HOLE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08250449(A) 申请公布日期 1996.09.27
申请号 JP19950049355 申请日期 1995.03.09
申请人 SONY CORP 发明人 GOCHO TETSUO
分类号 H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/336;H01L21/768;H01L23/522;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/306 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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