| 发明名称 |
HIGH FREQUENCY DISCHARGE PLASMA SOURCE APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08250292(A) |
申请公布日期 |
1996.09.27 |
| 申请号 |
JP19950052375 |
申请日期 |
1995.03.13 |
| 申请人 |
MITSUBISHI HEAVY IND LTD |
发明人 |
AOI TATSUFUMI;KATO MITSUO;TSURUSAKI KAZUYA;TAGUCHI TOSHIO;KAJINISHI KUNIYUKI |
| 分类号 |
H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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