发明名称 |
METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH08250743(A) |
申请公布日期 |
1996.09.27 |
申请号 |
JP19950074403 |
申请日期 |
1995.03.07 |
申请人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD |
发明人 |
YAMAZAKI SHUNPEI;KONUMA TOSHIMITSU;TAKEMURA YASUHIKO |
分类号 |
H01L29/786;H01L21/316;H01L21/336;H01L21/768;(IPC1-7):H01L29/786 |
主分类号 |
H01L29/786 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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