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经营范围
发明名称
METHOD AND APPARATUS FOR MACHINING WAFER
摘要
申请公布号
JPH08250562(A)
申请公布日期
1996.09.27
申请号
JP19950047694
申请日期
1995.03.08
申请人
NEC CORP
发明人
FUJII HIDEKI
分类号
H01L21/66;H01L21/82;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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