| 发明名称 |
PROCEDE ET INSTALLATION POUR LA FABRICATION D'UN COMPOSANT, NOTAMMENT D'UN COMPOSANT OPTIQUE, ET COMPOSANT OPTIQUE AINSI OBTENU. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2694131(B1) |
申请公布日期 |
1996.09.27 |
| 申请号 |
FR19930008825 |
申请日期 |
1993.07.19 |
| 申请人 |
BALZERS AG |
发明人 |
RUDIGIER HELMUT;EDLINGER JOHANNES |
| 分类号 |
B01J19/08;B01J19/00;C03C17/23;C03C17/34;C23F4/00;C23F4/04;G02B5/20;G03F7/00;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/306;G03F1/00;H01L21/66 |
主分类号 |
B01J19/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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