发明名称 PROJECTION ALIGNER
摘要
申请公布号 JPH08250419(A) 申请公布日期 1996.09.27
申请号 JP19960053000 申请日期 1996.03.11
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT>;NIKON CORP 发明人 HORIUCHI TOSHIYUKI;SUZUKI MASANORI;SHIBUYA MASATO
分类号 G02B27/00;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G02B27/00
代理机构 代理人
主权项
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