发明名称 INTERNAL DEFECT INSPECTION METHOD FOR CRYSTAL BODY
摘要
申请公布号 JPH08247956(A) 申请公布日期 1996.09.27
申请号 JP19950052898 申请日期 1995.03.13
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 SHIRAKAWA YOSHINORI;SUEOKA KOJI
分类号 G01N21/88;G01N21/93;G01N21/956;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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