| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR REMOVING FILM ON SUBSTRATE EDGE PART |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08250390(A) |
申请公布日期 |
1996.09.27 |
| 申请号 |
JP19950050106 |
申请日期 |
1995.03.09 |
| 申请人 |
TOKYO OHKA KOGYO CO LTD |
发明人 |
KUTSUZAWA JUNJI;KAI YOSHITO;MIYAMOTO HIDENORI;SHIMAI FUTOSHI |
| 分类号 |
B08B3/02;B05C9/12;B05D5/00;H01L21/027;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
B08B3/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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