发明名称 DISPOSITIF DE PRODUCTION D'UN PLASMA.
摘要
申请公布号 FR2665323(B1) 申请公布日期 1996.09.27
申请号 FR19900009618 申请日期 1990.07.27
申请人 REYDEL J 发明人 DESSAUX ODILE;DUPRET CHRISTIAN;GOUDMAND PIERRE;HOYEZ CHRISTOPHE
分类号 H01J37/32;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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