发明名称 |
DISPOSITIF DE PRODUCTION D'UN PLASMA. |
摘要 |
|
申请公布号 |
FR2665323(B1) |
申请公布日期 |
1996.09.27 |
申请号 |
FR19900009618 |
申请日期 |
1990.07.27 |
申请人 |
REYDEL J |
发明人 |
DESSAUX ODILE;DUPRET CHRISTIAN;GOUDMAND PIERRE;HOYEZ CHRISTOPHE |
分类号 |
H01J37/32;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46 |
主分类号 |
H01J37/32 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|