| 发明名称 |
MANUFACTURING EQUIPMENT FOR TUNGSTEN TARGET FOR SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08250426(A) |
申请公布日期 |
1996.09.27 |
| 申请号 |
JP19950052871 |
申请日期 |
1995.03.13 |
| 申请人 |
CENTRAL GLASS CO LTD |
发明人 |
ISHIBASHI TAKAYUKI;MOROI SHIRO;HAMANA TAKANORI |
| 分类号 |
C23C14/34;C22C27/04;H01L21/203;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/203 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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