| 发明名称 |
METAL ORGANIC VAPOR GROWTH METHOD |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH08250437(A) |
申请公布日期 |
1996.09.27 |
| 申请号 |
JP19950055664 |
申请日期 |
1995.03.15 |
| 申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
NAKAMURA TAKAHIRO;AE TAKASHI |
| 分类号 |
C23C16/18;C30B25/02;C30B25/14;H01L21/205;H01S5/00;H01S5/323;(IPC1-7):H01L21/205;H01S3/18 |
主分类号 |
C23C16/18 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
