发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH08250518(A) 申请公布日期 1996.09.27
申请号 JP19950052525 申请日期 1995.03.13
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 YAMANE YASUAKI;YAMAZAKI KIMIYOSHI;SUGITANI SUEHIRO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/338;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
地址