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发明名称 Piezoresistiver Beschleunigungsmesser
摘要
申请公布号 DE69121458(D1) 申请公布日期 1996.09.26
申请号 DE19916021458 申请日期 1991.05.07
申请人 NEC CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KONDO, YUJI, C/O NEC CORPORATION, MINATO-KU, TOKYO, JP
分类号 G01P15/12;H01L29/84;(IPC1-7):G01P15/12 主分类号 G01P15/12
代理机构 代理人
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