发明名称 Feldeffekttransistorstruktur mit einem schwebenden Gate und Verfahren zu ihrer Herstellung
摘要
申请公布号 DE69117796(T2) 申请公布日期 1996.09.26
申请号 DE19916017796T 申请日期 1991.05.06
申请人 PHILIPS ELECTRONICS N.V., EINDHOVEN, NL 发明人 CHEN, TEH YI JAMES, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL
分类号 H01L21/318;H01L21/28;H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/51;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L29/51 主分类号 H01L21/318
代理机构 代理人
主权项
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