| 发明名称 |
SHASHINSHOTSUKOKUYOHOTOMASUKU NO SEIZOHOHO |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5136873(A) |
申请公布日期 |
1976.03.27 |
| 申请号 |
JP19740108064 |
申请日期 |
1974.09.19 |
| 申请人 |
NIPPON ELECTRIC CO |
发明人 |
HASHIMOTO TADAHIRO;OKUYAMA YASUSHI |
| 分类号 |
H01L21/027;C23F1/00;G03F1/00;G03F1/48;G03F1/54;G03F1/56;G03F9/00;H01L21/02;H01L21/312;H01L21/3213;H01L21/768;H05K3/00 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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