发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 JPH08250727(A) 申请公布日期 1996.09.27
申请号 JP19950078454 申请日期 1995.03.10
申请人 NEC CORP 发明人 KATO TAKUYA
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L23/52;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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