一种生产半导体片的方法

摘要

一种生产半导体片的系统，其包括一个生产进度比较/计算部件，一个制造设备状态监视部件，一个装片量控制部件，和一个处理架控制部件。生产进度比较/计算部件，响应由制造设备状态监视部件来的计时信号，确定下一个要加工的半导体片，并自动寻找处理架上已经确定的半导体片。半导体片生产线的制造设备，在适当的时间开始加工半导体片，因此，按生产计划生产半导体片，并且符合半导体片的传输时间。

主权项

1.一种生产半导体片的方法，其中，组成一系统，该系统包括：一生产进度比较/计算部件，用于比较已制定的生产计划和生产完成情况并计算生产进度，一个制造设备状态监视部件，用于监视制造设备加工状态，一个装片量控制部件，用于控制在制造设备中要加工的处理架上准备的半导体片，一个处理架控制部件，用于自动寻找存放制造设备要加工的半导体片的处理架，其中，在生产进度比较/计算部件中响应由制造设备状态监视部件来的计时信号，开始计算生产进度，以便确定下一个要加工的半导体片，处理架控制部件自动地寻找已确定的半导体片的处理架。