| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE FABRICATION PROCESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR960012915(B1) |
申请公布日期 |
1996.09.25 |
| 申请号 |
KR19910004366 |
申请日期 |
1991.03.20 |
| 申请人 |
NIPPON ELECTRIC K.K. |
发明人 |
YATANABE, HIROHITO;TAZUMI, DORU |
| 分类号 |
H01L21/02;H01L27/108;H01L29/92;(IPC1-7):H01L27/04 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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