| 发明名称 |
Electron emission cathode, its manufacturing process, electron beam supply with such a cathode and vacuum-processing apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0378793(B1) |
申请公布日期 |
1996.09.25 |
| 申请号 |
EP19890122348 |
申请日期 |
1989.12.04 |
| 申请人 |
BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
WEGMANN, URS;KOLLER, ALBERT |
| 分类号 |
C23C14/22;C23C14/24;H01J1/16;H01J9/04;H01J37/065;H01L21/203;(IPC1-7):H01J37/065;H01J37/305 |
主分类号 |
C23C14/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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