| 发明名称 |
HEAT TREATING APPARATUS WITH COOLING FLUID NOZZLES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR960012876(B1) |
申请公布日期 |
1996.09.25 |
| 申请号 |
KR19890008278 |
申请日期 |
1989.06.15 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON SAGAMI K.K. |
发明人 |
NAKAO, KEN |
| 分类号 |
H01L21/22;C30B25/10;C30B31/12;F27B17/00;F27D9/00;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/31;H05B3/64;(IPC1-7):F27B5/16 |
主分类号 |
H01L21/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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