Apparatus for optically measuring specimen,申请号EP19900124242-传众专利搜索

发明名称	Apparatus for optically measuring specimen
摘要
申请公布号	EP0435111(B1)	申请公布日期	1996.09.25
申请号	EP19900124242	申请日期	1990.12.14
申请人	CANON KABUSHIKI KAISHA	发明人	ITOH, YUJI;TOGE, YOSHIYUKI;SAITO, ATSUSHI;YAMAZAKI, TATSUYA
分类号	G01N15/14;(IPC1-7):G01N15/14	主分类号	G01N15/14
代理机构		代理人
主权项
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