发明名称 CRYSTAL GROWTH APPARATUS AND GROWTH METHOD
摘要
申请公布号 JPH08245289(A) 申请公布日期 1996.09.24
申请号 JP19950049532 申请日期 1995.03.09
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SUZUKI TAKASHI;KUSUKI TOSHIHIRO
分类号 C30B13/32;H01L21/208;(IPC1-7):C30B13/32 主分类号 C30B13/32
代理机构 代理人
主权项
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