| 发明名称 |
METHOD FOR PLASMA TREATING AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08246146(A) |
申请公布日期 |
1996.09.24 |
| 申请号 |
JP19960060625 |
申请日期 |
1996.03.18 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
OTSUBO TORU;YAMAGUCHI YASUHIRO;TAKEUCHI NAOHIKO |
| 分类号 |
H05H1/46;C23C14/35;C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23C14/35 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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