发明名称 WAFER ABSORBED TYPE VACUUM CHUCK
摘要
申请公布号 KR960008154(Y1) 申请公布日期 1996.09.24
申请号 KR19930009333U 申请日期 1993.05.31
申请人 DAEWOO ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, SUK - WON
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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