发明名称 SPUTTERING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH08246147(A) 申请公布日期 1996.09.24
申请号 JP19960021196 申请日期 1996.02.07
申请人 MATERIALS RES CO 发明人 SUTEIIBUN HAAUITSUTO
分类号 C23C14/34;C23C14/35;C23F4/00;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/35 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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