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发明名称
SPUTTERING SYSTEM
摘要
申请公布号
JPH08246147(A)
申请公布日期
1996.09.24
申请号
JP19960021196
申请日期
1996.02.07
申请人
MATERIALS RES CO
发明人
SUTEIIBUN HAAUITSUTO
分类号
C23C14/34;C23C14/35;C23F4/00;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/35
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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