| 发明名称 |
DISPOSITIF POUR CREER UN FAISCEAU D'IONS D'ENERGIE AJUSTABLE NOTAMMENT POUR LE TRAITEMENT AU DEFILE ET SOUS VIDE DE SURFACES DE GRANDES DIMENSIONS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2722213(B1) |
申请公布日期 |
1996.09.20 |
| 申请号 |
FR19940008279 |
申请日期 |
1994.07.05 |
| 申请人 |
PLASMION |
发明人 |
WARTSKI LOUIS;ROY VERONIQUE;SCHWEBEL CHRISTIAN |
| 分类号 |
H01J27/16;H01J37/08;(IPC1-7):C23C14/48;C23C14/56 |
主分类号 |
H01J27/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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