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发明名称 TURBO-MOLECULAR PUMP
摘要
申请公布号 JPH08247084(A) 申请公布日期 1996.09.24
申请号 JP19950074545 申请日期 1995.03.07
申请人 OSAKA SHINKU KIKI SEISAKUSHO:KK 发明人 IGUCHI MASASHI;IKEGAMI TATSUJI;NAKAMURA JUNICHI
分类号 F04D19/04;(IPC1-7):F04D19/04 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
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