METHOD OF MANUFACTURING TARGETS FOR PREPARATION OF THIN FILMS,申请号SU19894746955-传众专利搜索

发明名称	METHOD OF MANUFACTURING TARGETS FOR PREPARATION OF THIN FILMS
摘要
申请公布号	RU1786749(C)	申请公布日期	1996.09.20
申请号	SU19894746955	申请日期	1989.10.06
申请人	LENINGRADSKIJ ELEKTROTEKHNICHESKIJ INSTITUT IM. V.I.ULYANOVA (LENINA)	发明人	AFANASEV V.P.;VINOKUROV M.P.;EGOROVA T.N.;OLESK A.O.;PRYAZHKIN V.B.;TALLERCHIK B.A.
分类号	B22F3/12;(IPC1-7):B22F3/12	主分类号	B22F3/12
代理机构		代理人
主权项
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