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发明名称 METHOD OF SEMICONDUCTING PLATE POLISHING
摘要
申请公布号 RU1725704(C) 申请公布日期 1996.09.20
申请号 SU19904790105 申请日期 1990.02.12
申请人 NAUCHNO-ISSLEDOVATELSKIJ INSTITUT "PULSAR" 发明人 BASHEVSKAYA O.S.;TYUNKOVA Z.V.;ZAKAZNOVA V.D.;KOLMAKOVA T.P.;ROGOV V.V.;BELOV N.I.
分类号 H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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