发明名称 Polygonspiegel
摘要
申请公布号 DE69301471(T2) 申请公布日期 1996.09.19
申请号 DE19936001471T 申请日期 1993.02.26
申请人 EBARA CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 ISOBE, SOICHI, YOKOHAMA-SHI, KANAGAWA-KEN, JP;KOMATA, KIMIO, SAITAMA-KEN, JP;ISHII, TOSHIAKI, KANAGAWA-KEN, JP;KOMAI, YUUICHI, KANAGAWA-KEN, JP
分类号 G02B5/09;G02B7/182;G02B26/12;(IPC1-7):G02B5/08 主分类号 G02B5/09
代理机构 代理人
主权项
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