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发明名称 Verfahren zur Bildung eines Kondensators
摘要
申请公布号 DE4229363(C2) 申请公布日期 1996.09.19
申请号 DE19924229363 申请日期 1992.09.03
申请人 MICRON TECHNOLOGY, INC., BOISE, ID., US 发明人 DOAN, TRUNG T., BOISE, ID., US;CATHEY, DAVID A., BOISE, ID., US
分类号 H01L27/04;H01L21/02;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
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