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经营范围
发明名称
Plasma etcher controller
摘要
申请公布号
AUPO191496(D0)
申请公布日期
1996.09.19
申请号
AU1996PO01914
申请日期
1996.08.28
申请人
GRIFFITH UNIVERSITY
发明人
分类号
主分类号
代理机构
代理人
主权项
地址
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