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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Aufbringen und/oder zum partiellen Entfernen einer dünnen Schicht auf ein bzw. von einem Substrat
摘要
申请公布号 DE4203913(C2) 申请公布日期 1996.09.19
申请号 DE19924203913 申请日期 1992.02.11
申请人 FAIRCHILD CONVAC GMBH GERAETE ZUR HALBLEITERTECHNOLOGIE, 71665 VAIHINGEN, DE 发明人 GABRIEL, SILKE, DIPL.-ING. (FH), 7000 STUTTGART, DE;ZIESLER, KLAUS-PETER, DIPL.-ING. (FH), 7143 VAIHINGEN, DE
分类号 B05D1/00;B05D1/32;B44D3/16;C23C26/02;G03F7/16;(IPC1-7):B05D1/32;B05C9/08;B05C11/08;B05C11/105;B05C13/02;B05D1/40;B08B3/04;C23C26/00 主分类号 B05D1/00
代理机构 代理人
主权项
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