发明名称 Zuverlässigkeitstestverfahren für Halbleiternutanordnungen
摘要
申请公布号 DE690311(T1) 申请公布日期 1996.09.19
申请号 DE19950304255T 申请日期 1995.06.19
申请人 SILICONIX INC., SANTA CLARA, CALIF., US 发明人 HSIEH, FWU-IUAN, SARATOGA, CALIFORNIA 95070, US;CHOI, CALVIN K., SAN JOSE, CALIFORNIA 95131, US;COOK, WILLIAM H., FREMONT, CALIFORNIA 94555, US;CHING, LIH-YING, CUPERTINO, CALIFORNIA 95014, US;CHANG, MIKE F., CUPERTINO, CALIFORNIA 95014, US
分类号 G01R31/26;H01L21/66;H01L29/78;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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