Vorrichtung für ein Vakuumverfahren mit verbessertem Durchsatz,申请号DE19936004038-传众专利搜索

发明名称	Vorrichtung für ein Vakuumverfahren mit verbessertem Durchsatz
摘要
申请公布号	DE69304038(D1)	申请公布日期	1996.09.19
申请号	DE19936004038	申请日期	1993.12.17
申请人	APPLIED MATERIALS, INC., SANTA CLARA, CALIF., US	发明人	TURNER, NORMAN L., MOUNTAIN VIEW, CA 94040, US;WHITE, JOHN MACNEILL, HAYWARD, CA 94541, US
分类号	C23C14/56;C03C17/00;C23C16/458;C23C16/46;C23C16/54;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/677;(IPC1-7):C23C16/00;C03C17/09;C23C16/44	主分类号	C23C14/56
代理机构		代理人
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