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发明名称 Metal nitride films
摘要
申请公布号 EP0546670(B1) 申请公布日期 1996.09.18
申请号 EP19920309658 申请日期 1992.10.22
申请人 FORD MOTOR COMPANY LIMITED;FORD-WERKE AKTIENGESELLSCHAFT;FORD FRANCE S. A. 发明人 PROSCIA, JAMES WILLIAM;WILLIAMS, KEITH BRIAN;RECK, GENE P.
分类号 C01B21/06;C01B21/076;C03C17/22;C23C16/34;(IPC1-7):C01B21/06 主分类号 C01B21/06
代理机构 代理人
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