发明名称 Displacement detector
摘要
申请公布号 EP0489399(B1) 申请公布日期 1996.09.18
申请号 EP19910120760 申请日期 1991.12.03
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 IGAKI, MASAHIKO,
分类号 G01D5/38;G01D5/36;G01J1/02;G02B3/08;(IPC1-7):G01D5/34 主分类号 G01D5/38
代理机构 代理人
主权项
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