| 发明名称 |
Phosphorous effusion apparatus and method for molecular beam epitaxy |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
GB2274468(B) |
申请公布日期 |
1996.09.18 |
| 申请号 |
GB19940000672 |
申请日期 |
1994.01.14 |
| 申请人 |
* CONSEJO SUPERIOR DE INVESTIGACIONES CIENTIFICAS;* RIBER S.A. |
发明人 |
FERNANDO FERNANDEZ-POLA * BRIONES |
| 分类号 |
C23C14/24;C30B23/06;(IPC1-7):C23C14/24 |
主分类号 |
C23C14/24 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
