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发明名称 Disk scanning apparatus for batch ion implanters
摘要
申请公布号 EP0342933(B1) 申请公布日期 1996.09.18
申请号 EP19890304948 申请日期 1989.05.16
申请人 VARIAN ASSOCIATES, INC. 发明人 FREYTSIS, AVRUM;HERTEL, RICHARD JOHN;MEARS, ERIC L.
分类号 H01J37/317;H01L21/265;H01L21/673;(IPC1-7):H01J37/317;H01J37/20;H01L21/00 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
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