| 发明名称 |
METHOD OF MEASURING THE THICKNESS OF A LAYER, AND A DEVICE FOR CARRYING OUT THE METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0619871(B1) |
申请公布日期 |
1996.09.18 |
| 申请号 |
EP19930920642 |
申请日期 |
1993.10.06 |
| 申请人 |
BUEHLER AG |
发明人 |
GREMINGER, HANSUELI;SCHOENENBERGER, NIKLAUS |
| 分类号 |
B02C4/32;B02C4/36;B02C23/00;G01B5/06;G01B21/08;(IPC1-7):G01B5/06 |
主分类号 |
B02C4/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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