发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH08241960(A) 申请公布日期 1996.09.17
申请号 JP19950045259 申请日期 1995.03.06
申请人 HITACHI LTD 发明人 KANBARA SHIRO;OGAWA TETSUO;YOKOMIZO KOICHI
分类号 H01L21/822;H01L21/8234;H01L27/04;H01L27/08;H01L27/088;H01L29/32;(IPC1-7):H01L27/04;H01L21/823 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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