发明名称 METHOD FOR PRODUCING CHROMATIC THIN FILM AND APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH08239757(A) 申请公布日期 1996.09.17
申请号 JP19950039902 申请日期 1995.02.28
申请人 TOYO SHINKU KK 发明人 TACHIBANA YOSHIYUKI
分类号 C23C14/32;C23C14/06;(IPC1-7):C23C14/32 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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