| 发明名称 |
UNIT AND METHOD FOR PRECISE POSITION CONTROL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08241128(A) |
申请公布日期 |
1996.09.17 |
| 申请号 |
JP19950070798 |
申请日期 |
1995.03.03 |
| 申请人 |
AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL |
发明人 |
OKAZAKI YUICHI |
| 分类号 |
G05B13/04;G01Q10/02;G01Q10/04;G01Q10/06;G05B19/39;G05D3/12;G11B9/14;(IPC1-7):G05D3/12 |
主分类号 |
G05B13/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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