发明名称 PRODUCING SILICON CARBIDE CRYSTAL LAYER
摘要
申请公布号 JPS55144500(A) 申请公布日期 1980.11.11
申请号 JP19790053934 申请日期 1979.04.28
申请人 SHARP KK 发明人 INOOKU TOSHIKI;SAKURAI TAKESHI
分类号 C30B19/00;C01B31/36;C30B23/02;C30B25/00;C30B25/02;C30B29/36;H01L21/18 主分类号 C30B19/00
代理机构 代理人
主权项
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