发明名称 |
PRODUCING SILICON CARBIDE CRYSTAL LAYER |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPS55144500(A) |
申请公布日期 |
1980.11.11 |
申请号 |
JP19790053934 |
申请日期 |
1979.04.28 |
申请人 |
SHARP KK |
发明人 |
INOOKU TOSHIKI;SAKURAI TAKESHI |
分类号 |
C30B19/00;C01B31/36;C30B23/02;C30B25/00;C30B25/02;C30B29/36;H01L21/18 |
主分类号 |
C30B19/00 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|