发明名称 SHAPE MEASURING METHOD AND SHAPE MEASURING DEVICE USING THE METHOD
摘要
申请公布号 JPH08240417(A) 申请公布日期 1996.09.17
申请号 JP19950068829 申请日期 1995.03.02
申请人 CANON INC 发明人 OTSUKA MASARU
分类号 G01B9/02;G01B11/24;(IPC1-7):G01B11/24 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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