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发明名称
SHAPE MEASURING METHOD AND SHAPE MEASURING DEVICE USING THE METHOD
摘要
申请公布号
JPH08240417(A)
申请公布日期
1996.09.17
申请号
JP19950068829
申请日期
1995.03.02
申请人
CANON INC
发明人
OTSUKA MASARU
分类号
G01B9/02;G01B11/24;(IPC1-7):G01B11/24
主分类号
G01B9/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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