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发明名称 WAFER DRYER
摘要
申请公布号 JPH08241881(A) 申请公布日期 1996.09.17
申请号 JP19950308922 申请日期 1995.11.28
申请人 SHARP CORP;KINMON KORUTSU:KK 发明人 TARUI TETSUYA;ASANO HIROMITSU;ONODA HAJIME
分类号 F26B19/00;F26B21/00;F26B21/14;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 F26B19/00
代理机构 代理人
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