发明名称 METHOD AND DEVICE FOR POSITIONING SAMPLE TO BE INSPECTED
摘要
申请公布号 JPH08241127(A) 申请公布日期 1996.09.17
申请号 JP19950065283 申请日期 1995.03.01
申请人 HITACHI LTD 发明人 KOBAYASHI HARUOMI;KAWAGUCHI HIROSHI;HARA YASUHIKO;DOI HIDEAKI;MATSUDO RYUICHI;SASAKI TAMOTSU
分类号 G01B11/00;G01B11/30;G01N21/88;G01N21/956;G05D3/12;G11B5/455;(IPC1-7):G05D3/12 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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