发明名称 SPUTTERING DEVICE AND METHOD THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH08239764(A) 申请公布日期 1996.09.17
申请号 JP19950041843 申请日期 1995.03.01
申请人 TOSHIBA CORP;SHIBAURA ENG WORKS CO LTD 发明人 OTA TOSHIHIKO;OMI KUNIO;MITANI NAOMI;UTSUNOMIYA NOBUAKI;ONODA TOSHIYASU;WATANABE KANAME
分类号 C23C14/34;C23C14/35;(IPC1-7):C23C14/35 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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