| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR SUBSTRATE AND SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH08241834(A) |
申请公布日期 |
1996.09.17 |
| 申请号 |
JP19950045253 |
申请日期 |
1995.03.06 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
OYU SHIZUNORI;OKURA OSAMU |
| 分类号 |
H01L29/786;H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
H01L29/786 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
